维修销售爱发科ulvac UTM-FH / FW系列涡轮分子泵 爱发科ulvac涡轮分子泵维修销售专家

维修销售爱发科ulvac UTM-FH / FW系列涡轮分子泵 爱发科ulvac涡轮分子泵维修销售专家

UTM-FH / FW系列、复合类型

UTM-FH和UTM-FW复合涡轮分子使用5轴磁悬浮和数字控制和实现高性能和可靠性和节能等优点。UTM-FH系列,提高了压缩比氢、高背压和高压缩类型和中间过程。UTM-FW系列是广泛和高流类型和高负载过程和中间~艰难的过程。

特性

丰富的变化从350年l / s(12.3 cfm)世界上最大的6300 l / s(222.4 cfm)(数字磁轴承控制类型)。

维护稳定的泵送性能的变化背压(FH系列)。

可选的内部加热系统控制转子温度和减少副反应的附着力副产品(FW系列)。

优秀的防腐蚀表面处理(不含3303年3303跳频和跳频)。可选的特殊表面处理(如镀镍+阳离子电泳,特殊的沉积膜,铝阳极化)是可用的。

挂载在所有的方向。

变速系统是可能改变的抽速响了从25%到100%。

没有限制将任何电源和泵主要单位改变电缆长度,因为使用免费无耦合系统和调优系统。

自我再生能源用于发电的备用电源使用黄油免费系统断电。麻烦黄油替代品不是必需的。

内置监控/自诊断和通信功能启用配置集中监控系统。

安全设计与断裂能量吸收结构可以减少破坏真空系统与泵问题发生的时候。

高耐用性和高可靠性等实验实现了空气涌入测试、各种测试、强制破坏测试转子和异物掉测试(硅晶片下降)

应用程序

UTM-FH系列

主要疏散的光~中间过程如蒸发器、溅射系统、干式蚀刻等,没有任何副作用的副产品。

主要疏散分析仪器,研发系统、实验室设备等。

主要疏散等这些设备和系统光气体H2和他。

多个涡轮分子泵与集中式泵配置。

UTM-FW系列

主要疏散中艰难的过程如干蚀刻、CVD系统等。

高流量气体疏散干蚀刻、CVD系统,溅射系统等。

主要疏散分析仪器,研发系统、实验室设备等。