维修销售爱发科ULVAC干泵爱发科LR/HR/UR系列干泵维修销售-嗳发科ULVAC真空泵维修销售 ULVAC真空泵维修销售专家

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LR / HR / UR系列干泵

ULVAC独特的方式，从干泵体内利用所产生的热量使LR / HR / UR系列即使在最严格的流程执行。 ULVAC一直专注于设计工作，为维护整个泵的所有阶段，使得该系列泵最适合CVD和蚀刻应用极其均匀的高温。

ULVAC的ECO-SHOCK可以被添加到LR泵额外节省多达70%的能源用于任何光线的进程，包括抽吸空气或氮气气体。

产品特点

低温泵：LR系列泵是专为负载锁定室和PVD工艺。

ULVAC独特的铝合金设计使得整个泵体很均匀的温度分布：HR系列泵是专为CVD和蚀刻工艺。

ULVAC LR系列泵是专为应用，需要加热泵，加热的气体线，和/或加热排气线

优秀的氦气泵功能：电机罐头维护的安全性和易用性

断电保护：泵承受电源中断长达500ms的时间。

优异的耐腐蚀性：内部组件被特殊处理，提供表面硬度和耐腐蚀性的程度高。这可以防止当暴露在腐蚀性气体磨损和内部泵零件腐蚀。

通讯功能：泵的数据包括警告和警报能够被出口。

广泛泵控制可用。

CE标志是可供选择：CE标志是可根据要求提供。

应用

泵被设计用于CVD法或干法蚀刻应用

泵被设计为PVD，蒸发或热处理工艺

减少排气时间为LL室(LR系列)

泵被设计为处理该粉末产生的副产物的过程气体如Si晶体生长炉

前级泵的涡轮分子泵和机械增压泵

纳布斯动态：

1.杭州联丰吴先生的ULVAC的GLA油泵已经德邦发出，请注意查收。

2.无锡李先生您的ULVAC VS1501真空泵已修好，德邦发出，请注意查收。

3.哈尔滨的刘先生您的ULAVC爱发科的GLD-136A,VD-401密封包已发出，请注意查收。

4.无锡的刘先生，您的爱发科ULVAC GLD-201真空泵已修好，现已由德邦发出，请注意查收。

5.宁波的李先生，您的2台爱发科ULVAC VS1501已做好保养，现已由德邦发出，请注意查收。

6.深圳的金先生，您的5台爱发科ULVAC DISL100已成功维修并保养，今已由德邦发出，请注意查收。

7.赣州的熊先生，您的ULVAC GLD-N201真空泵已成功维修，今由德邦发出，请注意查收。

8.宁波的夏先生您的两台ULVAC DA-120S干式膜片泵已维修好，今由德邦寄出，请注意查收。

9.苏州的罗先生您的4台ULVAC DA-60S干式膜片泵已维修好，今由德邦寄出，请注意查收。

10.嘉兴的陈先生您的一台ULVAC G-100DC油泵已维修好，今德邦寄出，请注意查收。