美国ULVAC干真空泵 LS系列LS1201的用途与方法 时间: 2018/11/15 10:25:43 来源: 苏州纳布斯机电有限公司 用途 高速排气 大气压力附近的排气速度快，可以缩短排气时间 低的消费电力 ECO-SHOCK技术可降低功耗(C规格) 达到压力时的功耗为0.6kW以下(LS120A-C) 低的噪音 标配专用静音器 到达压力时的噪声值在61dB(A)以下 降低运行成本 不需要以往需要的轴密封气体 ※L规格可以冲洗气体 全部四种机型 排气速度120~1200m3/h等级※与机械助力泵的组合 可根据使用情形选择合适的排气容量 方法 根据用途选择的2种类型 C规格:清洁流程(LS*A-C) 特征:ECO-SHOCK内置低功耗类型 用途:面向空气排气和N2排气等的清洁排气 溅射/蒸镀/粘合/加载锁定室/TMP辅助等 L规格:写入过程(LS*A-L) 特征:具有表面处理、清除功能的写入工艺类型 用途:面向水蒸气和挥发性药液排气等的灯处理 真空干燥/冻结干燥/洗涤/一般产业用途等
