日本爱发科(ULVAC)致力于高端触摸屏镀膜设备的本土化

“ULVAC是真空设备领域的领先企业,为了能够满足中国市场对具备绝对竞争力价格的国际高端设备的需求，我们在触摸屏相关设备及工艺方面投入大量研发人员和资金，并不断致力于大型In-Iine镀膜设备组装的本土化。”2011年5月6日，在深圳举行的“中外平板显示产业CEO圆桌峰会”上，爱发科集团会长中村久三博士就在中国开展高端触摸屏用镀膜设备事业及触摸屏解决方案进行了主旨发言。

作为ULVAC中国现地法人，爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司推出的In-Iine高速磁控溅射镀膜设备STD-1200系列，属于5.5代线，有效镀膜面积H1200mm×L1500mm，专为高端电容式触摸屏产品而设计.设备镀膜特征涵盖AR、低阻高透ITO、Anti-stain coating（防污膜）、Invisible高可视性等,可以满足ITO、Metal、SiO2等所有种类的镀膜工艺，能广泛应对从室温至高温的加热镀膜条件。利用真空回路设计有效减少真空腔体数量和无尘室的面积，采用了ULVAC W-a 阴极来实现靶材的高使用率，整合磁导向、移动阴极等ULVAC核心技术。同时采用模块化设计，设备安装维护简单易行.设备具备优秀的工艺稳定性和完美的镀膜质量。

在真空设备研制领域拥有全球顶尖优势,爱发科FPD用镀膜设备全球拥有1200台以上的销售业绩.ULVAC作为研究开发型企业，开发顺应未来发展趋势的先进技术。为提升实用便利性,各事业部紧密合协作，在工艺技术和材料等广泛领域进行开发研究.特别是在触摸屏方面，提供玻璃基板和FILM基板的镀膜设备、评价分析仪器、真空泵、镀膜靶材、配件清洗、靶材资源再循环等服务及解决方案.凭借多年积累的确凿实绩，在触摸屏的高信赖、高耐久、高透过、高产能等方面拥有独创的技术储备.此外,ULVAC还通过科学系统的触摸屏整厂规划，优化建线成本，垂直整合产线、设备、制程,为客户提供整厂解决方案。